データセット名：半導体基板上への金属ナノパターンの形成とその評価_FE-SEM_Ni/GaAs
課題名：半導体基板上への金属ナノパターンの形成とその評価
データセット登録者（所属機関）：AKABORI, Masashi（北陸先端科学技術大学院大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225JI2007
- 実施機関：
- 北陸先端科学技術大学院大学
要約
本データセットは、2025年度・学生研修プログラムにおける実習で取得したものである。本実習では、半導体製造技術の基礎を習得するために、クリーンルーム施設・電子線リソグラフィー(EBL)装置・真空蒸着装置等を使用して、半導体基板上へ金属ナノパターンを形成し、さらにナノ材料評価技術の基礎を習得するために、エネルギー分散型エックス線分光(EDX)装置および電子線後方散乱回折(EBSD)装置付き走査型電子顕微鏡(FE-SEM)を使用して、形成した金属ナノパターンを評価した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 41
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.05.07
- エンバーゴ解除日：
- 2026.04.30
- データセットID：
- eddc1d5c-edff-4448-be03-0e0a662eea3c
- データタイル数：
- 3
- ファイル数：
- 64
- ファイルサイズ：
- 132.45MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス