データセット名：プローブ部品の表面の微細構造_FIB-SEM
課題名：プローブ部品の表面の微細構造
データセット登録者（所属機関）：HAYAKAWA, Fumihiro （株式会社愛工舎）
- 課題番号：
- JPMXP1222NU0068
- 実施機関：
- 名古屋大学
要約
弊社で作製している真鍮コンタクトプローブの表面に処理した金属メッキ層の厚みおよび付着具合を詳細に評価するため、透過型電子顕微鏡によるEDS観察を実施することとし、FIB-SEM（HITACHI NX5000）を用いたTEM用試料の作製を依頼した。観察面の最表面にはカーボンによる保護膜を形成し、その後、切削および厚さ100nm以下までの薄切片化を行った。さらに、試料表面における損傷層を除去するために、Arビーム（1kV）による最終仕上げ処理を施した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 180
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2025.05.22
- エンバーゴ解除日：
- 2025.03.31
- データセットID：
- bc670088-7e31-4780-8afa-a552d769d61e
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 2.08MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス