データセット名：Nd:YAG単結晶の表面粗さ・反り測定データ比較
課題名：結晶の表面粗さ評価
データセット登録者（所属機関）：KOBAYASHI, Jun （自然科学研究機構 分子科学研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1222MS5035
- 実施機関：
- 自然科学研究機構
要約
【要約】
分析装置間における測定結果の数値比較のためにリファレンスとなるデータの測定をNd：YAG結晶を用いて行なった。これまでも当該装置を利用して様々な結晶の表面粗さや表面の反りを測定していたが、同一の結晶を用いて装置間で得られる数値の比較はしていなかった。
今実験で得られた測定データはこれまで測定していた同種の結晶を測定したときに得られていた測定データと同程度の数値が得られたので、この数値を用いて他の分析装置との比較に利用する。
【試料および観察条件】
試料：Nd：YAG単結晶
観察条件：2.75x ( zoom 0.5x ), 50x ( zoom 0.5x )
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.11.01
- エンバーゴ解除日：
- 2025.03.31
- データセットID：
- f797b60b-c26b-417c-b1c6-68abfe45d8c7
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 1.93MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス