データセット名：ピックアップシステムを用いたTEM試料作製
課題名：ピックアップシステムを用いたTEM試料作製
データセット登録者（所属機関）：NITA, Nobuyasu （三菱マテリアル）
- 課題番号：
- JPMXP1223NM0064
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
要約
その場TEM観察用MEMSチップにFIB法で試料作製した際、加工中のリデポジションや試料固定時のデポジションによる試料汚染を低減することができなかった。そこで、FIB加工後にArイオン加工したサンプルについて、ピックアップシステムを用いてMEMSチップへ固定し、その場TEM観察用の試料作製を行った。
試料は切削工具用材料を用いた。FIB法により厚さ100 nm程度まで薄膜化後、Arイオン加工した。ピックアップシステムを用いてMEMSチップにエポキシ樹脂で固定した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 30
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2026.05.07
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- a146e4ed-a0b0-4394-beff-8c48d9644c55
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 1
- ファイルサイズ：
- 2.54MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス