データセット名：酸化インジウム薄膜の結晶性評価 【HK-101_Titan3 G2 60-300_TEM】
課題名：酸化インジウム薄膜の結晶性評価
データセット登録者（所属機関）：FURUTA, Mamoru（高知工科大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223HK0102
- 実施機関：
- 北海道大学
要約
金属酸化物半導体を用いた高移動度薄膜トランジスタ（TFT）研究では、酸化インジウム成膜時に水素をドープし、結晶化過程の詳細を観察しました。電界放出型走査電子顕微鏡のEBSD分析を用いて、結晶核密度、結晶粒径、Hall移動度の関係を評価し、透過電子顕微鏡での界面特性も解析しました。また固相結晶化の時間変化観察より、結晶核密度ならびに横方向結晶加速度を抽出し、詳細を論文化（DOI:10.35848/1347-4065/ad21ba）した。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
- 63
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.05.13
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- b93aaa12-fc10-4991-a520-8bfe9e7ae020
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 5
- ファイルサイズ：
- 26.58MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス
装置・プロセス
成果発表・成果利用
- 論文等1：
-
Xiaoqian Wang, Nucleation and grain growth in low-temperature rapid solid-phase crystallization of hydrogen-doped indium oxide, Japanese Journal of Applied Physics, 63, 03SP38(2024).
DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad21ba