データセット名：電子銃型蒸着装置 [MB-501010]によるナノ相分離材料の組織分析
課題名：ナノ相分離材料の組織分析
データセット登録者（所属機関）：ABE, Hideki（NIMS）
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5363
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
要約
Pt2Ce合金薄膜をシリコン基板状に蒸着し、これを酸素含有雰囲気中で加熱処理することによって、二次元面に展開した極薄のナノコンポジット：Pt#CeO2膜を得る。このナノコンポジット膜は、ひとつながりにつながった金属Pt相、イオン導電性酸化物CeO2、二つの異なった物質相が互いに絡み合う特殊なトポロジーのために、触媒やセンサー利用に優れた機能を発揮する。
真空蒸着によりシリコン基板上に２～５０ナノメートルの合金薄膜を蒸着。酸素・一酸化炭素混合雰囲気下での加熱により、Pt#CeO2膜を得た。
ここでは電子銃型蒸着装置 [MB-501010]を用いた実験結果を掲載する。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.06.04
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- 125de50b-8b03-4139-9bcb-6deaed1bb193
- データタイル数：
- 16
- ファイル数：
- 52
- ファイルサイズ：
- 798.39KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス