データセット名：Au/Ni/Ti薄膜のシート抵抗測定
課題名：スパッタ成膜した薄膜のシート抵抗測定
データセット登録者（所属機関）：TOTSU, Kentaro（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5010
- 実施機関：
- 東北大学
要約
冷却型芝浦スパッタ（TU-160）を用いてガラス基板上へ様々な膜厚でAu/Ni/Ti積層膜を成膜し、シート抵抗測定を行った。
積層膜厚の構成は Au:600nm/Ni:250nm/Ti:30nm、Au:200nm/Ni:50nm/Ti:50nm、Au:300nm/Ni:150nm/Ti:80nm、Au:100nm/Ni:80nm/Ti:120nm、Au:480nm/Ni:220nm/Ti:150nm、Au:150nm/Ni:220nm/Ti:130nm、Au:400nm/Ni:50nm/Ti:100nm、Au:550nm/Ni:120nm/Ti:60nmである。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 129
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.12.24
- エンバーゴ解除日：
- 2025.12.31
- データセットID：
- dd7edd32-e281-44c3-9ea2-0cb748f32d67
- データタイル数：
- 12
- ファイル数：
- 49
- ファイルサイズ：
- 578.93KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス