データセット名：レジスト膜厚の温度・粘度依存性
課題名：膜厚制御に向けたSU-8フォトレジストの温度・粘度・膜厚の計測
データセット登録者（所属機関）：TERAO, Kyohei（香川大学）
- 課題番号：
- JPMXP1224GA2009
- 実施機関：
- 香川大学
要約
SU-8シリーズは、エポキシ樹脂ベースの永久膜用フォトレジストで、サブミクロンからミリメートルの厚みでスピンコート・塗布することができ、リソグラフィで高アスペクト比の構造が得られる。レジスト膜厚はスピンコート回転数だけでなく、レジスト粘度で変化するが、その粘度は温度によって影響を受ける。そこで、SU-8シリーズ（3005, 3010, 3025, 3050）で目的とする膜厚を得るための指針として、レジスト温度（標準白金温度計）、粘度（振動式粘度計）、スピンコート膜厚（光干渉式膜厚測定装置）を計測し、レジスト温度と粘度、粘度と膜厚の関係式を導いた。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 106
- ダウンロード数：
- 20
データインデックス
- 登録日：
- 2025.04.16
- エンバーゴ解除日：
- 2025.03.07
- データセットID：
- d476f8fc-fdf3-48ba-8fb8-0932fdcdffd2
- データタイル数：
- 12
- ファイル数：
- 72
- ファイルサイズ：
- 11.87MB
- ライセンス：
-
