データセット名：EBレジストの最適ドーズ条件出し_TGMR-EN103PE1.9_Lithography
課題名：EBレジストの最適ドーズ条件出し
データセット登録者（所属機関）：TOTSU, Kentaro（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5014
- 実施機関：
- 東北大学
要約
ネガ型東京応化工業製EBレジストTGMR-EN103PE 1.9cPをメーカーで提示された70kV加速電圧のデータを、加速電圧130kVエリオニクス電子線描画装置に適用するため最適なドーズ条件を確認した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 113
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.11.12
- エンバーゴ解除日：
- 2025.10.31
- データセットID：
- 37855cb7-9f14-431e-af63-1c26019292a6
- データタイル数：
- 2
- ファイル数：
- 57
- ファイルサイズ：
- 26.89MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス