データセット名：フォトレジスト（TSMR-V90_27cp, FT=1.0um）の感度曲線
課題名：各種フォトレジストの特性評価（2025年度実習）
データセット登録者（所属機関）：TOTSU, Kentaro（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5012
- 実施機関：
- 東北大学
要約
フォトレジスト（TSMR-V90_27cp、ポジ型レジスト）を主回転数4000rpmでシリコンウェハ上へ塗布し、SUSS_MA6（コンタクトアライナ、TU-058、ブロードバンド光源）を用い、ウェハ内を9分割して露光量を変化させてLine/Spaceパターンを露光した。露光量はパワーメーター測定値のh線光量から算出した。現像後の各露光量の膜厚を段差計（Tencor、TU-306）で測定した。計4枚のシリコンウェハのうち、3枚は9分割露光、1枚はフォトレジストき傷をつけ、ソフトベーク後の膜厚測定を行い、規格化膜厚の基準値とした。現像液による未露光部の膜減りは、平均40nm（約3.9%）、Ethは約55mJ/cm2@FT=1.0umであった。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.11.12
- エンバーゴ解除日：
- 2025.10.31
- データセットID：
- c6287a8a-e391-4edf-93a2-1074f3e0c871
- データタイル数：
- 28
- ファイル数：
- 140
- ファイルサイズ：
- 2.08MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス