データセット名：フォトレジスト（TCIR-ZR8800_96cp）のスピンカーブ
課題名：各種フォトレジストの特性評価（2025年度実習）
データセット登録者（所属機関）：TOTSU, Kentaro（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5012
- 実施機関：
- 東北大学
要約
フォトレジスト（TCIR-ZR8800_96cp、ポジ型レジスト）の露光条件出しのためスピンカーブを取得した。
Softbake後の膜厚は干渉型膜厚計（C12562：浜松ホトニクス製）を用いて測定した。
別途モニタウェハにフォトレジスト塗布を行い、フォトレジストに一部傷をつけてレジスト厚さを段差計（Tencor）で測定し、その厚さを基準に干渉型膜厚計での測定パラメータ調整を行った。
Softbake後と現像後の残膜厚比較を行い、現像液による未露光部の膜厚減少（Thickness Loss）は約55nm/minであった。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.11.12
- エンバーゴ解除日：
- 2025.09.30
- データセットID：
- 46397b0d-19cb-45a4-9ad8-4bf4970936b2
- データタイル数：
- 6
- ファイル数：
- 24
- ファイルサイズ：
- 319.19KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス