データセット名：ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携)[FY2022_ARIM Data FS]_HK-618:PDL_AD-230LP
課題名：ALD成膜テストデータの取得(NPF ALDデータベースシステムとの連携)
データセット登録者（所属機関）：ENDO,Takashi（北海道大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222HK9004
- 実施機関：
- 北海道大学
要約
北海道大学で所有している原子層堆積装置(ALD)について、標準的なプロセスレシピ集の作製を目的とし、様々なプリカーサーを用いてテストデータの取得を行いました。具体的にはプラズマ搭載のALD(HK-618)を使用したSiO2成膜の温度依存性(O2プラズマ条件) の実験結果です。本データセットには成膜に関する装置の設定条件を含んでおり、各項目は北大PDL版に準拠しております。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 162
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2024.11.13
- エンバーゴ解除日：
- 2023.09.30
- データセットID：
- 9d2c9c29-7125-4cdb-972f-a4c5dca32146
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 75.78KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス