データセット名：OS-104：ELS-BODEN:細線描画時の最適Doseの検討
課題名：阪大 産研 スタッフデータ 2025
データセット登録者（所属機関）：KONDA, Kazumi（大阪大学 産業科学研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1225OS9001
- 実施機関：
- 大阪大学
要約
<概要（目的・用途・装置説明・仕様）>
本データセットは、OS-104 自動搬送電子ビーム描画装置(エリオニクスELS-BODEN-OU4801)に関するスタッフデータである。本機は、ZrO/W 熱電界放射型電子銃の採用により、最小ビーム径 1.5nmφ の極細線用ビームを長時間安定して使用可能。最高 150kV の加速電圧を採用し、最小線幅 4nm の描画が可能。（※ 実験条件によるものであり、保証値ではありません）
■ 仕様 加速電圧：150kV, 最小電子ビーム径：φ1.5nm, 最小描画線幅：4nm, ビーム電流可変域：5pA ～ 100nA, 描画フィールドサイズ：100×100μm、250×250μm、500×500μm
＜データ＞細線描画を検討したスタッフデータ。レジスト：ZEP520A:ZEP-A=1:2。様々な線幅（Minimum line width）・ピッチ、ビームステップサイズ（BSS）において、最適なDoseを探索する一連のデータ集。パラメーターは結果のSEM像と共に、添付ファイルの画像に収録されている。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 228
- ダウンロード数：
- 34
データインデックス
- 登録日：
- 2025.10.20
- エンバーゴ解除日：
- 2025.10.20
- データセットID：
- b1b4cce3-91be-4690-9cea-d7f8b52a3630
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 18
- ファイルサイズ：
- 4.9MB
- ライセンス：
-
