データセット名：花粉アレルゲン検出用デバイス加工：OS-114RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）
課題名：高感度ウイルスナノセンサの開発
データセット登録者（所属機関）：TANAKA, Hiroyuki（大阪大学）
- 課題番号：
- JPMXP1224OS1027
- 実施機関：
- 大阪大学
要約
本課題では、花粉アレルゲン検出に適したサイズの固体ナノポアを加工し、イオン電流計測によるアレルゲン物質の検出を試みた。まず、当該Siウエハを25 mm角の大きさにダイシングカットし、片面にメタルマスクを置いて、CHF3ガスを用いたRIEにより窒化シリコン層を部分的に除去した。続いてKOH溶液に浸漬し約80 ℃に昇温することで、Si層の異方性エッチングを行った。これにより、基板の片面に厚さ約50 nmの窒化シリコンメンブレンを形成した。その後、ZEP520-Aをスピンコートし、プレベーク後、電子線描画装置を用いて直径300 nmの円を描画した。続いて現像後の残存レジスト層をマスクにし、反応性イオンエッチング（CHF3）により露出された窒化シリコン層を掘削することで、ナノポアを開口させた。
OS-114RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）を用いて様々なデバイスにスパッタを行った時のログノートより、レシピ情報を収録する。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.10.17
- エンバーゴ解除日：
- 2025.10.10
- データセットID：
- 297db21e-1e05-4049-ac5b-7a596e2641a8
- データタイル数：
- 57
- ファイル数：
- 410
- ファイルサイズ：
- 6.82MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス