データセット名：複合ビーム３次元加工・観察装置FIB-SEMによるSlice and view
課題名：2025電顕センタースタッフデータ
データセット登録者（所属機関）：TAKAGI, Shunya （大阪大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225OS0000
- 実施機関：
- 大阪大学
要約
金属材料や複合材料、半導体デバイスにおける構造的特徴は、材料特性やデバイス性能に直結するため、その内部構造を高分解能で観察する技術が求められている。
複合ビーム３次元加工・観察装置FIB-SEMを使用して試料断面を削り出すSlice（スライス）と断面を観察するView（観察）を繰り返し、断面像を取得する作業を行った。本実験は銅のバルクサンプルの表面をカーボンで保護し、断面の連続像を取得した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 262
- ダウンロード数：
- 48
データインデックス
- 登録日：
- 2025.10.08
- エンバーゴ解除日：
- 2025.10.09
- データセットID：
- 0fe8dc39-887f-4b0e-95c6-4b949da77622
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 44
- ファイルサイズ：
- 6.04MB
- ライセンス：
-
