データセット名：蒸気二流体によるパラジウム(Pd)薄膜のリフトオフ
課題名：蒸気二流体によるパラジウム(Pd)薄膜のリフトオフ
データセット登録者（所属機関）：WATANABE, Eiichiro （NIMS）
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2013
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
要約
蒸気二流体洗浄装置[SSM101]は、半導体微細加工プロセスにおける試料洗浄工程やリフトオフ工程において、有機溶剤や酸・アルカリ溶剤といった化学薬品を使用することなく、純水及び水蒸気の混相流体（蒸気二流体）で試料洗浄やリフトオフを行うことが可能です。本データセットは、Pd(30nmt)/Ti(5nmt)薄膜のリフトオフ検証結果となります。リフトオフに用いたレジストパターンは、Si基板上に電子線リソグラフィで作製したφ100nm, φ200nm, φ300nm, φ500nmのホールアレイとなっており、Pd(30nmt)/Ti(5nmt)薄膜は電子線蒸着装置で成膜いたしました。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 126
- ダウンロード数：
- 22
データインデックス
- 登録日：
- 2025.11.06
- エンバーゴ解除日：
- 2025.06.16
- データセットID：
- b3f5a073-5605-4fca-ad9d-a5d1687709ea
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 409
- ファイルサイズ：
- 190.23MB
- ライセンス：
-
