データセット名：ウェアラブルデバイス向け伸縮性電極の作製
課題名：ウェアラブルデバイス向け伸縮性電極の作製
データセット登録者（所属機関）：TANAKA, Shuji（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222UT1201
- 実施機関：
- 東京大学
要約
ウェアラブルデバイス用伸縮性電極を、レーザー加工装置を用いて加工した。伸縮性電極は、主に微細加工装置を、例えばスパッタや蒸着装置を用いて作製することが多い。しかしながら、伸縮性を薄膜は厚みが数μｍ程度であり、容易に破断するため機械的応力が印加されるウェアラブルデバイス用途では、耐久性が充分であるとはいえない。
そこで、東大微細加工プラットフォームの「UVプリント基板加工装置 ProtoLaser U4」を利用することで、任意の形状をもつ伸縮性電極を作製し、その機械特性、電気化学特性を評価することで、ウェアラブルデバイスへの応用を検討した。伸縮性電極の素材はMo、厚みは10μmである。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.08.29
- エンバーゴ解除日：
- 2025.03.31
- データセットID：
- 9350d18e-7c8f-4452-acd1-6d5319523289
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 3
- ファイルサイズ：
- 2.48KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス